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第47章（第1页）

既然被老板察觉出来了，彭斌只能实话实说。

“理解，我完全能理解，我之所以这样规定，就是为了让大家能有主观能动性。为自己的利益去拼搏的，才是最能长久的。”

沈丹青没有怪他，俗话说得好，人不为已天诛地灭。哪怕是他也不能枉顾大家的利益，否则得到的效果会非常差，只有顺势而为才是上上策。

因此最后他说道：“好吧！就是这么个事，既然你已经答应了，就按我刚才讲的去执行吧！”

“好的，老板，那我告辞了。”彭斌回答得很干脆，他知道这已经是老板能做到的最优方案了。

“嗯！”沈丹青点点头，目送彭斌离开后，又投入了批示文件中了。

仅仅只过了十天，沈丹青又将各研究单位的负责人召集起来开会了。如今长胜精工的技术部也改成机械设计院了，只不过还借用长胜精工的场地办公和实验。考虑到反正要搬迁到湖兰去了，就没再建研究院了。

这次他们都心里有底了，知道老板要他们开始设计光刻机和离子注入机了，没看到各集团公司都没人参加吗。

等沈丹青带着刘秘书走进会议室，大家都习惯地齐刷刷地站起来，异口同声地叫道：“老板”。就差刘秘书进门唱名“老板到”了，与委员长的排场也相差仿佛了，难怪世上的人都想功成名就，权力的诱惑实在是太大了。

“大家坐”沈丹青双手虚按，嘴上说道。

然后他自己先坐下，等大家都坐好了，才开始发言：“这次，相信大家也知道，我将你们叫来开会的原因，没错，我们要研发光刻机和离子注入机了，不管你们是否搜集完资料了，还是就要过年了，今年你们要吃点苦。

前段时间我已经跟你们讲了，微型芯片包括存储器是今后工业机械和电子产品所必须有的重要部件，就像煮菜必须放盐一样。

因此我们必须加快芯片生产设备的研发，否则会影响公司以后的发展。

这段时间，你们也都查了资料吧！哪一位给大家伙说说，光刻机的原理和技术要点，离子注入机的原理和技术要点。”话说完，沈丹青就注视着会场里的每一个人。

发现他们都躲躲闪闪，生怕让他点了自己的名。只有一个人例外，那就是刘秘书，此时他已速记好自己的讲话，正气定神闲地望着他。想必是等待自己再发言。

……

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第107章：企业分类

“咳咳”沈丹青重重地咳嗽了两声，提醒下大家，以示自己在注意他们。

最后还是洪涛避无可避，才不得不站起来说：“老板，我在美国接触过，虽然己是过时的技术了，但万变不离其宗。原理我想来，不会变。”

起了开头，他才正式的讲解道：

“光刻机又叫掩模对准曝光机，是利用照相机的原理，将电子工程师设计的电路图分多步骤转移到硅晶圆的方法。这里面最难的是激光技术和机械控制精度。但这两点其实我们早已经解决了，不得不说，老板真是高赡远嘱啊！

我先说，激光的重要性。一般光刻机上所用的激光都是紫外光，据我到公司以来，才了解。紫外光也分等级，普通的紫外光也叫UV，它的光波振幅是365Nm，第二种叫深紫外光，也叫DUV，又叫准分子极光，它的光波振幅减少到248Nm到193Nm，是我们早在九二年就请清华大学光电研究所，研究出来的技术。还有一种是我们为了提高纳米级数控机床的控制精度而研究出来的，我们叫极深紫外光又叫EUV，它的光波振幅只有10到15Nm。

光波振幅越小，意味着光刻精度越高。光波振幅小，能量密度就大，激光只要照射一次，就能在光刻胶上留下清晰的图形。因此，我敢说在激光技术方面，我们已经达到了世界领先。

第二个重点，机械控制技术，就不用我说了，我们已是世界领先，机械精度达到了纳米级水平。而且我们的机械控制技术与国外完全不同，在老板的指点下，我们采用的是非接触式电磁控制直线电机，完全实现了电信号控制，最高精度可以达到1纳米，这还是因为我们只采集了这个等级的数据。而据我所知，国外还在采取纯机械控制技术，他们还在热衷于滚珠丝杠和空气轴承等技术。控制精度至少与我们相差两个量级。

因此，我们研制光刻机已经没有技术难度。相反研制离子注入机，却有不少困难。

离子注入机就利用离子溅射的原理，来对已刻划好的晶体管进行掺杂，以达到我们需要的电学性能。

这里面有两个技术难点，第一是高温。高温会令微小的晶体管变形，因此我们需要想办法让温度降下来。第二，就是离子的轰击力度，力度过大，容易对晶体管造成损伤，力度过少，又达不到我们需要掺杂的目的。”

说到这里，他就偷看了一下老板，看他是否满意自己的讲解，发现一切没问题，他才做总结发言：

“我就讲这么多，有不足的地方请大家补充。谢谢！”

洪涛说完就坐下了，他是赶鸭子上架，没有办法，谁让他是留美博士，接触过这方面的知识。如果他一直缩着不出头，到时老板也会点他的名，那还不如自己主动，给老板的心里留下好印象。

接下来当然没有谁再发言了，这又不是什么美差。沈丹青等了几分钟，见没有人再站起来发言，就开始讲话：“刚才，洪所长的发言，非常有见地，基本上将重要的注意事项都点明了，我就不再多说了。我知道的还没有你们在座的任何人多，但我有几点要求。第一就是良品率，这是硬指标。第二就是效率，要有大规模生产的能力。我预计我国今后会用到大量的芯片，我们必须能迅速满足这个要求。从低端的16位元到中端的32位元，再到将来的高端64位元芯片，我们都要能大量提供。

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