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然后他又对其它人说:“你们都是熟人,我就不一一握手了,我们抓紧时间要紧。现在有范先生在这里,我们先拆开一条单晶硅棒瞧瞧,我们有什么不懂的地方好当面请教。”
“对对对,郭部长说得对,我们抓紧时间开始吧!浪费时间是可耻的。”卢汝成跟他开了个玩笑。他装着滑稽的表情说。
“哈哈哈哈!”办公室里其它的人都哄堂大笑起来。这次来的人除了范学东其他人都是熟人,以前都是郭东的手下,不过现在已经不归他管了,因此难得的放肆了一回。
但是长胜精工的技术员,却不敢笑,想笑也只能用力憋着。他们依照郭东的命令,手忙脚乱地拆开了单晶硅棒的外薄膜包装。
大家都蹲下来看,发现整根硅棒大小不一,有提拉部,颈部、生长部、尾部等。外型也不圆,外表还涂了一层可能是防氧化的油。
“看样子,只有中间这一段有用啊!”郭东指着中间那段大约20英寸直径的生长部问范学东。
“是的,就是中间这一段,也有些不合格的,不过可以作为底片。每一根加工成型的棒材都需要通过人工检测,合格的作为基片,不合格的作为底片。具体的方法就是通过高倍显微镜观测,只有晶相一致的才能作为基片。”
范学东毕竟是专业人士,他比沈丹青介绍得祥细多了,也专业得多。这全都归功于新成立的技术信息部的功劳,他们从国外搜罗了大量的科学文献和技术资料,因此各研究所的技术员,他们的理论知识是突飞猛进。仅从理论上讲,他们已经不弱于国内各大研究所的科学家,在某些方面甚至超过他们。谁让沈丹青成立了技术信息部这么一个专业的间谍组织呢!所以说一家企业有钱还是有点用的。
“这得多浪费啊!,可能只一半有用吧!”郭东发出了感慨。其它人也都点头,认同他的观点。
“这已经算好的啦!国外还不如我们呢!这还得归功于你们制造的单晶硅生长炉非常精密。不过你们也不要担心,剩下的我们还可以回收。不会太浪费的。”范学东一副少见多怪的神态向他们解释道。
“那这些油呢?有什么清洗液吗?”郭东又指着外层的油问他。
“当然有,并且还需要清洗两次,最后一次还需要用无氧超纯水冲洗。冲洗干净后,还要烘干。”范学东又向他们科普了一番。
“啪啪啪!”郭东蹲着仔细思考了一番就站起来拍了拍手掌说:“好啦!大家也了解的差不多了,我刚才仔细地思考了一下,发现问题还很复杂,远远不是老板所说的几台机器那么简单。”
说完,他就走到一张画图的办公桌边,拿了一张绘图纸和一支笔,先勾画了一个抽象的草图。他指着图上的两个图案说:“我把整套设备规划成两部分,一部分是不需要的氩气环境下工作的,另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。我先讲前一部分。”
说完他就又拿笔在纸上画了几个示意草图,他拿笔指着其中一个说:“我们首先要切断,因为是大物体切断所以不需要太精密,我设想就是一台机床就可以了,反正后续还有许多加工处理步骤。不过要注意,在切断的时候要加防氧化油,把棒材的两个横载面涂抹油,目的是防止氧化。”
说完这些他就又用笔指着另外一个图案说:“切断之后就要把硅棒滚圆,使它符合硅晶圆基片的大小要求,并且保持整根棒材圆整度的一致性,在这个加工步骤中,也要加防氧化油,使整根棒材外表有油保护,防止氧化。”
说到这里,他又用笔指着另一个图标说道:“到了这一步,就必须在氩气环境内进行下一步了,因此,我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。”
“等等,郭部长,清洗和烘干这两个步骤,光刻机、离子注入机和CVD机都要用到,而且你还忘了,回火这个步骤,单硅晶棒在切薄片的时候,因温度过高的原因会变形,因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士,比他们更了解整个制程工艺。因此出言提醒了郭东。
“谢谢你的提醒!范先生。”郭东不知如何称呼他的职务,只好叫他先生了。
“没什么,我们不是一起解决问题嘛!”
范学东摇着手,客气道。
“好!既然是这样,那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体,只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。
说完他又皱起了眉头,然后像自言自语地说道:“不过这样一来,老板说的一条轨道远远不够,长长短短可能要十多条,像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”
“我想的也差不多,整套系统绝不简单,我们要把里里外外都考虑清楚了,再开始设计,尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最高的,还超过了他以前的顶头上司郭东,因此他没有顾虑的发表了自已的意见。
“嗯!卢总说得不错,那我们休会一个小时,大家都思考思考。”郭东作为主人,作了决定。
郭东说完,大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考,在心里描绘出整个系统的雏形,设想怎样才更合理。
“咚咚”过了一个小时,郭东准时敲响了桌子,将大家从思考中惊醒过来。
他见大家都注意到了自已就开始说道:“由于人数较多,就不一个个发言了,时间不允许。我说出我的想法,有什么不对的大家补充。”
他没等大家回答,组织了思路就开始说了:“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一条轨道上,具体步骤按我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火,然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘,因为硅片很薄,不能用机械的方式传输,否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空吸盘式,肯定不能用卡钳的方式,否则损伤更大。上胶机必须设计两部,两种不同的胶不能混和在一起,否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一个烘干的步骤,这里也要用机械臂直接输送不用设轨道。因此必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机体积都不大,可以布置得很紧凑。
又因为各个步骤都要检测,因此我们可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭,方便使用电子显微镜检测。
我设想的大体系统架构就是这样,具体到每部机器再具体设计。大家有什么补充的就说一下。”
说完他就坐到。,将位置让了出来。
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