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第150章 光刻工厂引轰动打破西方垄断第2更(第1页)

6月1日。

滨海电视台外景记者汪冰冰,带着摄制团队,来到滨海芯片有限公司。

公司总经理吴雪,随同介绍。

汪冰冰询问道:“吴总,你们公司的稳态微聚束(ssb)极紫外光源设施,就是你在国际半导体论坛上,说的光刻机工厂吗?”

“没错!”

吴雪笑着点点头。

她带着汪冰冰等人,来到一处环形建筑前。

吴雪耐心介绍道:“你们眼前的环形建筑,就是稳态微聚束(ssb)极紫外光源设施,项目总建筑面积为125万平方米,周长148米。

它主要包括直线加速器、波荡器、光束线、增强器、电子储存环、实验站等等。

位于源头的电子束,产生电子后,直线加速到接近光速,在波荡器里偏转发出sr。

电子束团震荡过后,变成微聚束,长度缩的很短,更加聚集,还有相干性。

通过增强器,功率指数增加至上限。

电子束团进入电子储存环后,引入激光调制系统,加上扭摆磁铁,横向纵向下手调制,巧妙地把电子束更加完美地聚集在一起。

不断绕圈之后,强光呈现出微态。

其特性,简单来说,就是微聚束的相干辐射发强光+存储环高重频。

稳态微聚束(ssb)极紫外光源设施,发出的光源,相对好控制。

需要发出强光时,就让微聚束发出相干辐射,导出euv光源进行光刻……”

汪冰冰一行人,边参观边听介绍。

当众人来到增强器隧道后。

他们一眼望去,能看到里面排布着许多五颜六色,形状各异的“大家伙”。

吴雪的声音,不断响起。

“你们看到的大家伙,其实是磁铁系统,主要控制着电子的方向。”

“红色长方体状磁铁是二极铁,可以让电子‘转弯’。”

“蓝色的磁铁是四极铁,可以把‘想往外跑’的电子拉回来。”

“整个增强器区域元件数量多,真空连接段众多,排列紧凑。”

“其中,弧区包含磁铁、真空和束测设备等132个预准直单元以及128块二极磁铁,直线节包括注入引出设备、高频、磁铁、真空和束测设备等……”

听到一系列的介绍。

汪冰冰等人,都不明觉厉的点点头。

她询问道:“吴总,目前科学界探索的euv光刻机,主要有四种,分别是ssb、lpp、sr、srf-fel。

荷国阿斯麦尔公司,采用的是lpp模式,最终产生135n的euv光源,做出了euv光刻机。

ssb模式相比lpp更进一步,被称为未来euv光源,能够产生1n以下电子束。”

“是的!”

吴雪点头道:“阿斯麦尔公司,为了出货到各地的晶圆厂,把光刻机做成小型化,而我们直接打造大型的光刻工厂。

我们建设的‘环形建筑’,直接让光‘跑’起来。

其产生的光源,通过不断的筛选,可以得到28n、14n、7n、5n、4n、3n、2n、1n等不同规格的光束。

目前,我们的光刻工厂,已经能达到稳态的高功率光源,可以将电子加速到接近光速,产生产生波长短、功率大的光源,来提升芯片的制程工艺。”

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