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徐申学之所以特地跑过来看,那是因为这两座工厂里采用了不少海湾科技生产的国产DUV干式光刻机以及相应的其他配套设备。丁成军自然知道徐申学跑过来看这两座落后工艺的八寸晶圆厂,为的是什么,所以介绍的时候都是把重点放在了国产前道光刻机以及蚀刻机,后道光刻机,离子注入机等一系列仙女山控股旗下海湾科技的国产设备上。
“我们去年开始就已经产线上大规模应用海湾科技提供的DUV干式光刻机,目前主要应用于公司的多座八寸厂,同时还在部分十二寸厂里作为辅助光刻机使用!”
“先进芯片的生产过程里,为了降低综合成本,也不会所有工序都使用最先进的DUV浸润式光刻机外,而是会用DUV干式光刻机进行一些部分工序,只在必要的工序里才使用DUV浸润式光刻机的,因此哪怕是先进的十二寸厂里也有着不小的DUV干式光刻机的需求!”
“而在八寸厂里,DUV干式光刻机则是主力光刻机,我们新扩充的产线,包括新建立的两座八寸厂,都是使用海湾科技的DUV干式光刻机为主力光刻机!”
“截止到目前,我们已经在各厂里实际应用了三十六台的海湾DUV干式光刻机,在未来两年里,我们将会进一步提升,把国产海湾DUV干式光刻机的应用数量提升到一百台以上。”
“在其他设备,如蚀刻机,后道光刻机等诸多核心设备上,我们也大量采用国产光刻机!”
“这些国产设备的整体性能,虽然对ASML以及尼康的光刻机有一些差距,但是因为采购成本更低,后续维护成本也更低,因此综合下来的生产成本反而还有一些优势。”
徐申学看着工厂里正在开工的海湾科技的DUV干式光刻机,脸上露出了笑容:“这挺好的,光刻机这种核心设备,还是要自家的才稳妥,海湾科技那边的研发能力是可以的,而你们作为用户也要加大力度支持!”
“不仅仅是现在的DUV干式光刻机,还有UDV浸润式光刻机更要大力支持!”
丁成军道:“徐董你放心,这方面我们也是知道轻重的,今年五月份海湾科技开发出来了第一台样机的时候,我们就已经派遣了技术团队前往配合进行各种测试,以加快国产DUV浸润式光刻机的量产计划!”
“听技术团队反馈,进展似乎挺不错的,估计到十月份就能入驻到我们的产线进行各种生产测试,明年有望量产。”
徐申学道:“这就好!”
在看过了DUV干式光刻机后,徐申学心痒痒,所以趁着还有时间就直接跑到了海湾科技去了。
反正距离也不是很远,车队半个多小时就到了海湾科技。
到了海湾科技后,提前得到消息的王道林早早就公司的大楼下等候着了。
徐申学的车队抵达后,就快步上前迎接。
徐申学下车后道:“一大群人客气什么,都回去工作吧,王总陪着就行了!”
随即对王道林道:“听说你们这个DUV浸润式光刻机搞的挺不错的,十月份就要进行试产测试了?”
王道林也猜到了徐申学为什么会过来,当即道:“是啊,同事们最近加班加点都在抢进度呢,不出意外的话,我们十月份就能拉着第一台试产版本的光刻机去隔壁的智云微电子工厂里进行各项试产测试。”
徐申学:“这是大好事,回头等试产测试的时候记得通知我,我回头也去看看!”
光刻机的研发,其实是一个比较漫长的过程,并不是说样机搞出来就能用了。
海湾科技这边在去年十月份的时候,实际上就已经搞出来了第一台测试样机,但是这种样机只能用于一些子系统的技术验证,测试各种技术指标,看看造出来的产品能不能用。
距离实际投产还远着呢。
经过了持续半年的技术验证,调整改进,直到今年四月份,才算是搞出来了第一台真正意义上的样机,理论上可以用于生产的那种!
但也只是理论上!
实际上搞出来这种测试样机后,还需要进行反复的各种测试,调整,同时还需要晶圆厂方面的各种测试反馈,这个过程往往需要大半年甚至一年以上的时间。
而这,说的还是DUV浸润式光刻机这种成熟的,有着可以借鉴的光刻机。
如果是EUV光刻机,从测试样机到量产,得好多年呢。
ASML在几年前就已经向四星交付了第一代EUV光刻机,后续也向台积电交付了研究测试样机,这种交付的EUV光刻机,实际上就是研究测试用的,是没有办法用于芯片生产的,
过去几年四星以及台积电,都在积极配合ASML进行各种的研发测试,至于测试量产量产机型原本预计在16年左右交付。
以上,说的还是正常情况。
而实际情况是,因为中间受到EUV光源子系统供应商以及其他部分关键零部件供应商的‘非常规意外’,ASML的EUV光刻机项目几乎原地停滞,这几年里都没有进行太大的技术推进。
小批量测试量产的交付,依旧遥遥无期,别说16年交付了,20年都够呛……
哪怕现在徐申学不搞什么小动作了,他们一切顺顺利利的搞,估计也得延迟好几年。
但是你不能指望徐申学不搞小动作啊……EUV光刻机关乎智云集团生死,谁跟你玩什么规矩啊。
在EUV光刻机问题上,徐申学的态度一向来都非常的强硬:我用不了,你们也别指望用……
“要么一起用,要么谁都别用。”
“这个问题没得谈,天王老子来了都没用,老子说的!”
然后对面老财团的人呵呵一声:“老子就先搞,就不给你用,你咬我?臭暴发富的,有几个新钱了就不知道天高地厚,真当我怕你啊!”
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